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标旗光电>> 光学元件检测>>FTM 薄膜厚度光谱测量仪  

 

FTM 薄膜厚度光谱测量仪

 

    FTM 薄膜厚度光谱测量仪通过薄膜表⾯与基底材料反射光⼲涉现象,可快速⽆损测量薄膜的厚度,膜厚测量范围为1nm-1mm,待测材料主要有PET、氧化物、氮化物和保护膜层等,通常这些覆膜的基底材料包括硅晶⽚或玻璃等,还可测铜箔的厚度,⼴泛应⽤于半导体、⼯业⽣产中。

 

仪器特点

1. 测量准确度眼nm;
2. 膜厚测量范围1nm-1mm;
3. 可分析单层或多层薄膜,最多可⾄6层薄膜;
4. 测量速度快,精准度⾼,可在线监测;
5. ⾮接触⽆损检测,不会损伤镀膜表⾯;
6. 可拓展:⽀持在线测量项⽬开发。
 

测量对象

技术参数

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