Ö÷ÒªÌØµã
1¡¢Ö÷»ú£º
Ë«¹âÊø¡¢Ë«µ¥É«Æ÷¡¢±ÈÀý¼Ç¼²¢ÓɼÆËã»ú¿ØÖƵÄ×ÏÍâ/¿É¼û£¨/½üºìÍ⣩·Ö¹â¹â¶È¼Æ¡£
2¡¢¹âѧϵͳ£º
Õû¸ö¹âѧϵͳȫ²¿²ÉÓÃÍ¿ÓÐSiO2±£»¤²ãµÄ·´Éä¹âѧԪ¼þ£¬È«Ï¢¿ÌÏß¹âÕ¤¿ÌÏßÃܶÈ×î¸ß£¨×ÏÍâ/¿É¼ûΪ1440Ìõ/mm£¬½üºìÍâ360Ìõ/mm£©£»²ÉÓÃ×îÏȽøµÄËÄÇø·Ö¶ÎµÄÉÈÐÎÐźÅÊÕ¼¯µÄÕ¶²¨Æ÷£¬È·±£ÁËÿ´ÎµÃµ½×î׼ȷÑùÆ·ºÍ²Î±ÈµÄÐźţ¨Õ¶²¨Æ÷ÔËתÆÚ¼ä£¬ÑùÆ·ºÍ²Î±ÈµÄÐźŷֱ𵥶À±»¸÷×ԵĺÚÇøÐźÅËùУÕý£¬²¨³¤¾«¶È×î¸ß£º×ÏÍâ/¿É¼ûÇø0.08nm£©£»
×îÏȽøµÄËÄÇø·Ö¶ÎµÄÉÈÐÎÐźÅÊÕ¼¯µÄÕ¶²¨Æ÷£º¼´ÉÈÐÎÐźÅУÕý¼¼Êõ£¨CSSC£©
Êý¾Ý²É¼¯Ë³ÐòΪ£ºÑùÆ·/ºÚÇø/²Î±È/ºÚÇø
3¡¢ÒÇÆ÷µÄ±ê×¼²¨³¤·¶Î§¿í£º
Lambda 950: 175¡«3300nm£¨185nmÒÔÏÂÐèµªÆø´µÉ¨£©
4¡¢ÒÇÆ÷µÄÏßÐÔ·¶Î§¿í£º
×ÏÍâ/¿É¼ûÇø£º8 A (Lambda 850/950)
£¨ÒÇÆ÷µÄÏßÐÔ·¶Î§ÓÉÒÇÆ÷µÄÔÓÉ¢¹â´óС¾ö¶¨£¬ÏàͬµÄÔÓÉ¢¹â¾ö¶¨ÁËÏàͬµÄÏßÐÔ·¶Î§£¡£©
´Ó¶øÔÊÐíÓû§ÔÚËùÒªÇóºÍÐèÒªµÄ¾«¶ÈϽøÐеÍ͸ÉäºÍ·´ÉäÑùÆ·µÄ²âÁ¿
5¡¢ÒÇÆ÷µÄ±ê×¼ÅäÖù¦ÄÜÇ¿´ó£º
ͨ¹ýÈí¼þ¿ØÖƵĹâÊøÕÚµ²Æ÷ʹСÑùÆ·µÄ²âÊÔ¾øÎÞÎÊÌ⣻
Èí¼þ¿ØÖƵIJαȼ°ÑùÆ·¹âÊøË¥¼õÆ÷ʹÒÇÆ÷¡°¼¸ºõÄܲ⵽ÑùÆ·µÄ×îºóÒ»¸ö¹â×Ó¡±£¨²»Ôö¼Ó·ÑÓᢲ»Õ¼ÓÃÑùÆ·²ÖµÄ¿Õ¼ä£©£»
²»ÓÃÆ½»¬ÔʼÊý¾Ý¼´¿ÉµÃµ½×î¼ÑµÄÐÅÔë±È£¨¸ßÐÔÄܵĹâµç±¶Ôö¹ÜR6872ÐͱÈR928Ð͵ÄÁéÃô¶È¸ß4±¶£»
6¡¢ÌṩÕû¸ö²úÆ·µÄ½â¾ö·½°¸£º
¿ÉÊʺϸ÷ÖֳߴçµÄÑùÆ·©¤©¤´óÑùÆ·²ÉÓÃÍòÄܹâѧ̨£¨GPOB£©½øÐвâÁ¿£»
ΪÓû§Ìṩ¼¼Êõ½â¾ö·½°¸©¤©¤³£¹æ·ÖÎöµÄÄÜÁ¦£¬Q-COM£¨¿ìËÙ¹âѧ̨ģʽ±ä»»£©
µÄ¸ÅÄѸËÙ¸ü»»Óë°²×°¸÷ÖÖ¸½¼þ£ºÈç»ý·ÖÇò¡¢·´
É丽¼þ¡¢ÍòÄܹâѧ̨¡¡
ÍòÄܹâѧ̨£¨GPOB£© Q-COM¸ÅÄ¿ìËÙ¹âѧ̨ģʽ±ä»»£©
¿ÉÑ¡µÄ¼ì²âÆ÷¿ÉÂú×ãÓû§¶ÔÓÚÉ¢ÉäºÍ»ë×ÇÑùÆ·²âÊÔµÄÌØÊâÐèÇ󩤩¤¶ÔÓÚÄѲâµÄÑùÆ·¿ÉÌṩ»ý·ÖÇòµÄ¼ì²âÆ÷£»
ΪÓû§ÌṩÈí¼þµÄ½â¾ö·½°¸£ºUV WinLabÈí¼þ¹¦ÄÜÇ¿´ó£¬¿ÉÌṩר¼Òģʽ(Expert mode)ÔËÐÐÒÇÆ÷£¬ÎªÓû§Ìṩ×îÓŵÄÒÇÆ÷²ÎÊý£¨ÊµÑéÌõ¼þ£©»¹¿ÉÌá¹©ÌØÊâÓ¦ÓõÄÊýѧÔËË㡢ɫ¶È¡¢½¨Öþ²£Á§¡¢·À»¤²£Á§¡¢ÂË¹âÆ¬¼°Êý¾Ý¿âµÈµÄÈí¼þ£¨¸ß¼¶¹âÆ×Èí¼þ¹¤¾ß°üASSP£©£»
7¡¢¿ÉÌṩµÄ¸½¼þ×îÈ«£º
Âþ·´É丽¼þ£º60mm/150mm»ý·ÖÇò¡¢Ð¡ÑùÆ·µã˫׶ÐÍ£¨Âþ·´É䣩¸½¼þ£»
150mm»ý·ÖÇò
Ö±¾¶1.5¡«2mmµÄСÑùÆ·²âÊÔ£¨È籦ʯ£©
ÊÕ¼¯Çò£º60mm»ý·ÖÇò£¬¿ÉÓë¾µ·´É丽¼þºÍ´ó½Ç¶È͸Éä²âÁ¿Ê±²ÉÓã»
¾µ·´É丽¼þ£º³ý³£ÓõÄһϵÁй̶¨½Ç¶ÈÓë¿É±ä½Ç¾ø¶Ô/Ïà¶Ô¾µ·´É丽¼þÍ⣬¶À¼Ò×îÐÂÍÆ³öÁË:
ͨÓ÷´ÉäºÍ͸Éä²âÁ¿¸½¼þURA ÊÀ½çÉ϶À¼Ò¿ÉÔÚ8¡«70¶ÈµÄ½Ç¶ÈÄÚ£¬185¡«3200 nm¼ÆËã»úÈí¼þ¶à½Ç¶È·´ÉäÒ»´ÎÉ趨£¬×Ô¶¯¿ØÖÆÁ¬Ðø±ä½Ç¶È¡°¿Õ°×-ÑùÆ·-¿Õ°×-ÑùÆ·¡±Ñ»·£¬¿É¶Ô²ÄÁϽøÐоø¶ÔºÍÏà¶Ô¾µÃæ·´ÉäµÄ²âÁ¿¡£ÑùÆ·³ß´çÎÞÏÞÖÆ£¡Ò²¿É½øÐÐ͸ÉäģʽµÄ²â¶¨¡£
URA¶ÀÓеÄÓ²¼þÓëÈí¼þ
¶¨ÏòµÄÏà¶Ô¾µ·´Éä/͸É丽¼þ£¨¿ÉÔÚ1¡«80¶ÈµÄÕý¸º½Ç¶È¶Ô²ÄÁϽøÐÐ͸Éä»ò·´ÉäģʽµÄ¸ß¾«¶È²âÁ¿£¬°üÀ¨ÆðÆ«Æ÷¼°Á½¸ö·´Éä±ê×¼¾µ£©£»
¾ø¶Ô¶¨ÏòµÄVWÐ;µ·´É丽¼þ£¨¿ÉÔÚ8¡«80¶ÈµÄÕý¸º½Ç¶È¶Ô¾µ²ÄÁϽøÐÐ͸Éä»ò·´ÉäģʽµÄ¸ß¾«¶È²âÁ¿,°üÀ¨¼¤¹â×¼Ö±¼°ÆðÆ«Æ÷¼°Á½¸ö·´Éä±ê×¼¾µ£©£»
Ë«¹âÀ¸¸½¼þ£¨¿ÉУÕý¼ì²âÆ÷µÄ·ÇÏßÐÔÎó²î£¬´Ó¶øÌá¸ßÒÇÆ÷µÄÏßÐÔ·¶Î§¼°¹â¶È¼Æ¾«¶È£©£»
ÆðÆ«£¨Õñ£©Æ÷ºÍÏûÆ«£¨Õñ£©Æ÷£º
ÍòÄܹâѧ̨£¨GPOB£©£ºÊ×´´µÄ¶à¹¦ÄÜÑùƷ̨,ÓÃÓÚ´óÑùÆ·»ò³ÉÆ·µÄ²âÊÔ£¨Èç´óµÄ¼¤¹â¾§Ìå¡¢ÍûÔ¶¾µÍ¸¾µ¡¢ÕÕÏà»ú¾µÍ·¡¢Æû³µ²£Á§µÈ£©
¹âÏ˸½¼þ£º
ÓÃÓÚÂË¹âÆ¬¼°°ëµ¼Ì徧ƬµÄ´óÐͲâÁ¿¹¤¾ß
È䶯±ÃÎüÒºÆ÷
¶à³ØÖ§¼Ü
ÏßÐÔ´«ÊäºÍÄý½º£¨±¡Ä¤¡¢ÂË¹âÆ¬£©É¨Ã踽¼þ£¨¿ÉÑ¡ÅäÓëÖ®ÅäÌ×µÄÏÁ·ìµ÷½Ú¸½¼þ£¬ÓÃÓڸıäÑùÆ·Óë²Î±È¹âÊøµÄ´óС£©
8¡¢Ó¦ÓÃÁìÓò¼«¹ã£º
¹âѧ¡¢Í¿²ã¡¢É«¶È¡¢²ÄÁÏ¡¢²£Á§¡¢ÉúÎï¼¼Êõ¡¢Ò©Îï¡¢½»Í¨¡¢Í¨Ñ¶