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NanoCalc 薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。
特点
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可分析单层或多层薄膜
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分辨率达0.1nm
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适合于在线监测
操作理论
最常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
查找n和k值
可以进行多达三层的薄膜测量，薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。
应用
NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。
NanoCalc系统
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NC-UV-VIS-NIR |
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重量： |
250-1100nm |
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厚度： |
10nm-70µm |
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光源： |
氘卤灯 |
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NC-UV-VIS |
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重量： |
250-850nm |
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厚度： |
10nm-20µm |
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光源： |
氘卤灯 |
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NC-VIS-NIR |
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重量： |
400-1100nm |
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厚度： |
20nm-100µm (可选1µm-250µm) |
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光源： |
卤灯 |
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NC-VIS |
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重量： |
400-850nm |
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厚度： |
50nm-20µm |
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光源： |
卤灯 |
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NC-NIR |
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重量： |
650-1100nm |
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厚度： |
70nm-70µm |
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光源： |
卤灯 |
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NC-NIR-HR |
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重量： |
650-1100nm |
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厚度： |
70nm-70µm |
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光源： |
卤灯 |
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NC-512-NIR |
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重量： |
900-1700 nm |
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厚度： |
50nm-200µm |
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光源： |
高亮度卤灯 |
NanoCalc规格
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入射角 |
90° |
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层数 |
3层以下 |
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需要进行参考值测量 |
是 |
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透明材料 |
是 |
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传输模式 |
是 |
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粗糙材料 |
是 |
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测量速度 |
100ms - 1s |
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在线监测 |
可以 |
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公差（高度） |
参考值测量或准直(74-UV) |
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公差（角度） |
参考值测量 |
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微黑子选项 |
配显微镜 |
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显示选项 |
配显微镜 |
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定位选项 |
6"和12" XYZ 定位台 |
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真空 |
可以 |
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